公开/公告号CN102300809B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 森托塞姆硅科技有限公司;
申请/专利号CN201080006180.4
发明设计人 福尔马尔·维尔弗里德;弗兰克·斯特伯翰;
申请日2010-01-28
分类号C01B33/035(20060101);G01B11/06(20060101);G01B11/08(20060101);G01B21/08(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人车文;张建涛
地址 德国布劳博伊伦
入库时间 2022-08-23 09:18:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/035 授权公告日:20140312 终止日期:20160128 申请日:20100128
专利权的终止
2014-07-09
专利权的转移 IPC(主分类):C01B 33/035 变更前: 变更后: 登记生效日:20140616 申请日:20100128
专利申请权、专利权的转移
2014-03-12
授权
授权
2012-02-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/035 申请日:20100128
实质审查的生效
2011-12-28
公开
公开
机译: 用于测量硅沉积炉中硅棒的生长温度和厚度的设备和方法
机译: 硅沉积反应器中硅棒的温度和厚度增长的测量装置和方法
机译: 硅沉积反应器中硅棒的温度和厚度增长的测量装置和方法