大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构

摘要

本发明公开了大口径超精密测量机的半球定心平面支承转台结构，包括转台基座、平面支承石墨块、转台下静压盘、半球座、半球形石墨瓦、中心轴和半球轴；转台基座中心设有一个安装孔，半球座固定于该安装孔中；半球形石墨瓦固定在半球座上；中心轴安装于半球轴中心并连同半球轴固定在转台下静压盘上；半球轴的凸球面与半球形石墨瓦的凹球面相配合；转台下静压盘的底面开设有环形槽，该环形槽内均匀固定有若干块平面支承石墨块；平面支承石墨块与转台基座形成气体静压轴承副。本发明采用小尺寸的半球轴对大尺寸的转台进行回转定心，实现高的回转精度；采用平面气体静压轴承支承，减小零部件摩擦，具有高精度、高刚度和高承载能力特点。