测量PBS偏振膜面偏向角度的装置及方法

摘要

本发明涉及一种测量PBS偏振膜面偏向角度的装置及方法，其中装置包括带有PBS托架的工装支架、放置在工装支架底部的反射镜、设置在工装支架上并分别对反射镜和PBS进行角度调整的第一二维俯仰调节架和第二二维俯仰调节架、与PBS处于同一光路的成像机构，以及对应成像机构设置的显像机构。当入射光射向成像机构时，入射光通过在成像机构、PBS及反射镜的不同的光传播线路在显像机构上显示出若干亮点，调整反射镜对应的第一二维俯仰调节架的二维角度使亮点中最亮的两个亮点重合，得到PBS偏振膜面相对于入射面的偏向角。本发明将所有加工误差考虑进去，提高了测量精度以及激光器量化生产的效率。