公开/公告号CN1118309C
专利类型发明授权
公开/公告日2003-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 北京康健通技术开发有限公司;
申请/专利号CN00133615.0
申请日2000-11-29
分类号A61N5/067;
代理机构北京万科园专利事务所有限责任公司;
代理人张亚军
地址 100083 北京市海淀区成府路29号地大附中教2楼
入库时间 2022-08-23 08:56:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-01-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61N 5/067 授权公告日:20030820 终止日期:20121129 申请日:20001129
专利权的终止
2003-08-20
授权
授权
2001-05-02
公开
公开
2001-04-04
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法