一种自旋阀磁阻元件的热磁处理装置及方法

摘要

本发明涉及一种自旋阀磁阻元件的热磁处理装置及方法。所述装置包括导片器、加热器、“D”形软磁体、环形磁场线圈和收集器；所述方法包括将自旋阀磁阻元件推入，元件从预加热区依次经过高温加热区、高温稳定区进行加热，然后进入“D”形软磁体直边中部的水平间隙进行低频强磁处理；随着元件继续被推进，处理后的元件不断滑入元件收集器中。所述方法可以消除磁阻元件屏蔽材料层的晶格缺陷，减小磁滞区几何中心对应于磁场输出的坐标系的原点的离散区域和微分磁导率的离散性，从而提高元件的稳定性和灵敏度。