多弧离子镀纳米多元素复合膜的低温沉积工艺

摘要

本发明涉及一种多弧离子镀纳米多元素复合膜的低温沉积工艺。多弧离子镀膜技术离子镀时温度高、膜层粗糙，不适于低回火温度的钢材，会使淬火后的金属基体回火变软。本发明主要特点是利用多弧离子镀膜设备，在真空状态下使至少三种金属被加热气化，在至少二种气体下进行化合，通过控制一定的工件转速，使其到达工件表面的每一种金属膜层的尺度都被控制在一定的纳米范围内，调整占空比和负偏压。本发明在高电压、低占空比的工艺条件下，可控制沉积温度在185℃以下，可使热处理淬火后的低回火温度材料在不改变热处理性质的前提下镀上多元素的复合膜层，以增加硬度和耐磨性，这种工艺可广泛应用于航空、汽车、工具、刀具、模具、纺机另部件的制造。