公开/公告号CN102543065B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201110459324.8
申请日2011-12-31
分类号G10L25/78(20130101);G01D5/26(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:16:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-20
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G10L 11/00 申请日:20111231
实质审查的生效
2012-07-04
公开
公开
机译: 使用激光多普勒干涉仪可视化和测量流体流动中的涡流和压力振动,该激光多普勒干涉仪不需要使用传声器为流体注入来测量涡流消散
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法
机译: 悬臂阵列,其制造方法,扫描探针显微镜,导向和旋转机构的滑动装置,传感器,具有光学激发功能的,用于激发样本的零差激光干涉仪,激光多普勒干涉仪,以及用于激发悬臂的方法