压力传递装置以及具有该压力传递装置的压力传感器

摘要

压力传递装置包括压力传递装置主体(20)和分离膜(10)；在压力传递装置主体(20)和分离膜(10)之间形成压力室，压力室的体积V由分离膜的位置决定；分离膜(10)具有材料厚度h且具有面积为A的工作区域；分离膜(10)具有一个参考位置，在此位置上压力室包含参考体积V_ref，并且分离膜是可偏转的，从而可以使压力室的体积在V_ref±ΔV_Soll的范围内变动；无量纲的偏移量w(ΔV)与体积变化ΔV相关联，w(ΔV):＝(3·ΔV)/(A·h)；测定ΔV_Soll以得到|w(ΔV_Soll)|≥2.5；对于所有满足|w(ΔV)|≤|w′(ΔV)|且其中|w′(ΔV)|≥0.5*|w(ΔV_Soll)|的w(ΔV)，分离膜都具有附加的非轴对称的偏转模式，它叠加在w(ΔV)的轴对称偏转上；非轴对称的偏转模式在|w(ΔV)|＝0.4*|w(ΔV_Soll)|时至少是非轴对称的偏转模式的最大偏转的0.3倍。