兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统

摘要

本发明为一种兆声波清洗头及包括该清洗头的兆声波清洗系统，该清洗头包括：换能器；谐振器，用于传播来自换能器的能量；该谐振器具有上表面和下表面，上表面耦合至换能器，谐振器内部具有不通透上表面、下表面的真空的孔阵列。本发明兆声波清洗头采用内部具有圆柱形或其它几何形状的不通透的真空的孔阵列的谐振器，通过兆声波在其内部的多次反射起到补偿消耗的作用，消除振动波的不均匀性，实现兆声波能量的均匀分布。当半导体上喷有超纯水或者化学液时，通过兆声波产生的均匀的流体波将半导体上的杂质冲掉，并经由液体的流动被带走，从而实现对半导体的清洗，并且对半导体的破坏较小。