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公开/公告号CN102260870B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110198078.5
发明设计人 曹远迎;李耀耀;张永刚;顾溢;王凯;
申请日2011-07-15
分类号
代理机构上海泰能知识产权代理事务所;
代理人黄志达
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室
入库时间 2022-08-23 09:16:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
授权
2012-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/02 申请日:20110715
实质审查的生效
2011-11-30
公开
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