法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-03-14
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-08-27
授权
授权
2000-07-05
公开
公开
2000-06-07
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 静电驱动微镜及使用该微镜的同一光开关的制造方法
机译: 微镜设备,例如对于微光学银行,具有与半透明弹性膜连接的微镜,其中镜被压力致动且镜的角度或平移位置发生变化
机译: 制造微光学镜的方法和由此获得的微镜或微镜矩阵。