法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 9/06 授权公告日:20130918 终止日期:20140718 申请日:20110718
专利权的终止
2013-09-18
授权
授权
2012-04-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 9/06 申请日:20110718
实质审查的生效
2012-02-22
公开
公开
机译: 用于抽真空基板的设备,用于抽真空基板的系统以及在真空室中运送基板载体和掩模载体的方法
机译: 用于抽真空基板的设备,用于抽真空基板的系统以及在真空室中运送基板载体和掩模载体的方法
机译: 用于从废气中过滤颗粒物(pm)的过滤器,用于压燃式发动机的排放系统,压燃式发动机以及用于从废气中捕获颗粒物(pm)并在排放中调节过滤器背压的方法压燃式发动机的系统。