基板处理方法和装置、记录实施该方法的程序的记录介质

摘要

本发明提供一种基板处理方法和装置、记录实施该方法的程序的记录介质，当从形成微细抗蚀剂图案的基板上除去冲洗液时，能够防止图案倒塌，并且能够减少疏水剂的使用量，降低进行基板处理时的处理成本。该方法包括：向形成抗蚀剂图案的基板供给冲洗液的冲洗液供给工序(S12)；和在包含使抗蚀剂图案疏水化的第1处理液的蒸气的气氛下，从供给了冲洗液的基板上除去冲洗液的冲洗液除去工序(S14～S16)。