形成抗反射薄膜的组合物,层状产品,和抗蚀剂图案的形成方法

摘要

形成抗反射膜的组合物，其具有优异的适用性，在产生超细微泡方面受到了显著抑制，产生能够足够地减少驻波效应的抗反射薄膜并且具有优异的在水和碱性显影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的组合物包含：(A)由例如2-(甲基)丙烯酰氨基-2-甲基丙烷磺酸代表的含磺酸基的丙烯酰胺衍生物和例如由2，2，3，3，3-五氟丙基(甲基)丙烯酸酯代表的含氟代烷基的丙烯酸酯衍生物的共聚物(盐)；和(B)表面活性剂，其0.1wt％的水溶液具有在25℃下测量的45mN/m或更低的表面张力。