三维多方向敏感的微型压力开关

摘要

一种三维多方向敏感的微型压力开关，属于微机电系统技术领域。本发明中，可动电极包括环形可动电极和水平梁两个部分，环形可动电极与蛇形水平弹簧连接，并被弹簧支撑座悬空在基底上方；固定电极为L形，L形一部分平行于基底、另一部分垂直于基底，其中固定电极平行于基底部分与环形可动电极有垂直间隙，固定电极垂直于基底部分与环形可动电极有水平间隙。本发明利用由弹簧支撑的可动电极与固定电极构建，仅使用一只微开关器件即可同时检测来自多方向的微接触压力作用，并且通过对四对电极的导通情况可大致分析出力的来源方向，增加了开关的功能并且方便了其在集成电路中的系统封装。