一种应用脉冲大电流幅度校准装置进行校准的方法

摘要

本发明提出了一种半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置，其组成部分包括：NIPXI-1042主控机箱，NI PXI-4071高速数据采集单元、TDS320数字示波器、半导体器件测试系统专用测试适配器。通过相关设备的设置，并对采集回来的脉冲信号数据进行处理，求取平均值作为校准结果。目前能够解决通信领域内半导体器件测试系统脉冲大电流源幅度的校准。