LED晶粒扫描与点测的运作系统及运作方法

摘要

一种LED晶粒扫描与点测的运作系统及运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，该LED晶粒扫描与点测的运作系统包括一输送带、一组用于搬运LED晶粒载具的汲取装置、至少一个设置于该输送带任一侧的扫描装置及一个以上设置于该输送带任一侧上的LED晶粒点测装置，而该输送带将该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内时，会对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，之后，会再由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。本发明能够将晶粒扫描与晶粒点测流程一致化，不再需要人工进行搬运，可大幅提升晶粒点测的效率，节省制造成本与人力成本。