公开/公告号CN102015394B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-07-03
原文格式PDF
申请/专利权人 约马-综合技术有限公司;
申请/专利号CN200980116138.5
发明设计人 维利·施耐德;
申请日2009-06-29
分类号
代理机构北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张文
地址 德国博德尔斯豪森
入库时间 2022-08-23 09:14:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-03
授权
授权
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):B60T 13/52 申请日:20090629
实质审查的生效
2011-04-13
公开
公开
机译: 用于引导和放置板的传送装置,具有用于产生真空的真空源,以及在真空区域之前提供的传感器,用于检测板的前边缘并产生用于顺序产生真空的信号
机译: 用于产生和提供真空的装置以及排气阀
机译: 用于产生和提供真空的装置以及排气阀