一种多晶硅提纯用电子束熔炼装置

摘要

本发明涉及一种多晶硅提纯用电子束熔炼高效除杂装置。该装置上部分为电子束熔炼室，下部分为定向凝固室，三把电子枪分别垂直安装在电子束熔炼室的上壁，左右水平水冷铜坩埚与移动丝杠机构相连接，在熔炼室上壁的左右两侧各设置有硅原料入口，送料机构安装在原料入口的上端，水冷铸锭坩埚安装在定向凝固室中。水冷盘安装在水冷铸锭坩埚的底部，并与出锭顶升机构相连接。进水管和出水管与位于水冷铸锭坩埚底部的水冷盘相连通，电子束熔炼室的后方配置有高真空系统、送料仓、电控柜、操作台、高压电源和循环水冷系统。本发明解决了现有的电子束熔炼技术效率低、定向除杂效果不理想的问题，提供了一种提高电子束熔炼效率，消除新加入硅料熔化时对已扫描脱磷硅液的污染，提高了生产效率。