一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材

摘要

本发明涉及一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材，该靶材是通过溶液反应先制得金属离子掺杂的二氧化钛粉体，再将其压制和烧结来制备，其制备过程工艺简单，易于实现一种或多种金属离子的均匀掺杂，离子的掺杂量能够精确控制，并在制备过程中金属离子能够进入二氧化钛晶格中，发生化学键合，所制得的靶材中二氧化钛的平均晶粒度为200纳米以下，靶材致密度高，这种靶材可以用于磁控溅射法制备金属离子掺杂的二氧化钛纳米薄膜。