气体喷射装置及具备该气体喷射装置的处理室

摘要

提供一种可防止气体喷射板的变形及破损的气体喷射装置，以及具备该气体喷射装置的处理室。气体喷射装置包括形成有气体注入口的支撑板、气体喷射板、多个连结块及隔离膜。气体喷射板，同支撑板隔着间距而设置，并且具备多个气体喷射孔，用于将通过气体流入口流入的气体向被处理基板方向喷射。连结块沿气体喷射板的边缘相互隔着间距设置，其一端部被固定结合在气体喷射板上，另一端部被支撑板支撑，以便随着气体喷射板的热变形而移动。隔离膜沿气体喷射板的边缘形成在连结块之间，用于封闭支撑板和气体喷射板之间的空间。根据上述结构，能够防止气体喷射板的热变形所导致的破损，提高沉积均匀性。