用于把金属前体层热转变成半导体层、以及太阳能电池组件的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于把衬底上的金属前体层热转变成半导体层的方法，以及执行该方法和用于在衬底上形成太阳能电池组件的装置。本发明的目的是提供快速并且简单可行的方法，用于把任意所需衬底上的金属层转变成半导体层，和适于实施该方法和用于高效率形成太阳能电池组件的装置。通过使预先至少准备有金属前体层(10)的衬底(4)在炉子(1)内在多个步骤中在大约大气外界压力下加热，然后转变成半导体层，该炉子被分成多个温度区域，每种情况中预定温度达到400℃至600℃之间的最终温度，同时在包含运载气体和硫属元素蒸汽的混合气体中保持最终温度。