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单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统

摘要

一种适用于至少两个频率输入的单一匹配网络,用于选择性地给所述两个频率中的任一频率提供射频功率匹配给一等离子体负载,所述单一匹配网络包括一连接至所述多频率输入的输入端和一连接至所述等离子体负载的输出端,在所述输入端和输出端之间包括相互串联的电容以及电感,并且所述电容和电感构成一支路,所述电容的电容值为C

著录项

  • 公开/公告号CN102438389B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-06-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中微半导体设备(上海)有限公司;

    申请/专利号CN201010296641.8

  • 发明设计人 欧阳亮;刘磊;钱学明;陈金元;

    申请日2010-09-29

  • 分类号

  • 代理机构上海智信专利代理有限公司;

  • 代理人王洁

  • 地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号

  • 入库时间 2022-08-23 09:14:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-09

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更前: 变更后: 申请日:20100929

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2017-09-05

    专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H05H1/46 授权公告日:20130605 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 解除日:20170809 申请日:20100929

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2017-09-05

    专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H05H 1/46 授权公告日:20130605 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 解除日:20170809 申请日:20100929

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2015-04-22

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H05H1/46 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 发明名称:单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统 授权公告日:20130605 申请日:20100929

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2015-04-22

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 发明名称:单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统 授权公告日:20130605 申请日:20100929

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2015-04-22

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司 质权人:国家开发银行股份有限公司 发明名称:单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统 授权公告日:20130605 申请日:20100929

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

  • 2013-06-05

    授权

    授权

  • 2013-06-05

    授权

    授权

  • 2013-06-05

    授权

    授权

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20100929

    实质审查的生效

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20100929

    实质审查的生效

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20100929

    实质审查的生效

  • 2012-05-02

    公开

    公开

  • 2012-05-02

    公开

    公开

  • 2012-05-02

    公开

    公开

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