液体中的溶解气体浓度的测定方法、测定装置和氮气溶解水的制造装置

摘要

本发明涉及一边实施将被检液通入根据气体透过膜(2)分离的液相室(3)，将气相室(4)的冷凝液排出的操作，一边测定与液相保持平衡状态的气相的真空度的液体中的溶解气体浓度的测定方法；在密封容器(1)的内部设置气体透过膜(2)，分隔为液相室(3)和气相室(4)，将被检液导入液相室(3)中，在气相室(4)中设置压力计(8)和冷凝液排出管(7)，通过压力计(8)，测定气相室(3)的真空度的溶解气体浓度的测定装置；按照与供给经脱氧处理的超纯水和氮气的气体溶解装置的供水配管或氮气溶解水排出管连接的方式设置上述测定装置，对应于溶解气体浓度，调节氮气供给量的氮气溶解水的制造装置。可从整体上将在流路中流动的液体中的溶解气体浓度作为饱和度的总值，长期稳定地测定。另外，可稳定地制造氮气溶解水。