法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-01
授权
授权
2012-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/30 申请日:20110621
实质审查的生效
2011-12-14
公开
公开
机译: 用于检测试样表面成型的成型测试扫描仪,包括扫描仪单元,带有表面成型扫描仪的测试装置以及带有校准成型单元的测试和校准头
机译: 包含功能输出复用功能的扫描单元的扫描测试电路
机译: 网格扫描单元和使用该网格扫描单元的芯片测试设备,以最大程度地减少测试时间