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可变排量压电泵

摘要

本发明涉及一种可变排量压电泵,其包括具有界定泵室的侧壳壁的泵壳,与泵室连通的入口管和出口管,在泵室内跨越侧壳壁的柔性泵膜片,膜片行程调节机构,如接合泵膜片的压电叠堆,以及在膜片行程调节机构和泵壳的侧壳壁之间提供的膜片支承。本发明提供的泵在高压和低压条件下均具有较佳的流量能力。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-01-14

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04B 43/04 授权公告日:20130508 终止日期:20131204 申请日:20081204

    专利权的终止

  • 2013-05-08

    授权

    授权

  • 2011-01-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04B 43/04 申请日:20081204

    实质审查的生效

  • 2009-06-10

    公开

    公开

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