电容式真空规的膜片结构及电容式真空规

摘要

本发明提供一种电容式真空规的膜片结构及电容式真空规，包括相对设置的固定极板和可动极板，固定极板和可动极板之间设有极板间隙，极板间隙为d，可动极板的厚度为t，其中，0.1d≤t≤25d。如此设置，通过限制可动极板厚度t和极板间隙d之间的比例关系，使得可动极板厚度t和极板间隙d之间保持较好的平衡关系，以避免长时间使用后固定极板和可动极板之间出现相对位移偏差，从而在满足电路使用要求的前提下，提升了电容式真空规的线性度，最终提高了电容式真空规的整体性能与稳定性。