一种基于CFD的洁净室气流组织模拟方法

摘要

本发明公开了一种基于CFD的洁净室气流组织模拟方法，包括如下步骤：确定数值模拟的气流控制方程；建立数值模拟的三维几何分析模型；将几何模型导入到网格划分软件中，对几何分析模型进行空间上的离散，即划分网格；在求解器中通过公式计算得到经验参数；在求解器中进行迭代计算；将计算收敛的文件导入到后处理软件中，评价方案的气流组织效果。本发明提供的一种基于CFD的洁净室气流组织模拟方法，给出了洁净室CFD气流组织模拟的具体技术流程、参数设置和收敛判断标准；同时，针对洁净室内DCC和孔板风口等复杂结构，提供了一种简化思路，在简化建模难度和提高计算速度的同时保证了计算结果的准确性。