薄膜太阳能电池前电极透明导电薄膜的制绒工艺

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池前电极透明导电薄膜的制绒工艺，包括浸泡、清洗、烘干三个依次进行的工序步骤，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自动控制方法进行自动连续浸泡刻蚀制绒；透明导电薄膜蚀刻的溶液由草酸、盐酸、表面活性稳定剂和去离子水按如下的重量比比例配制而成：草酸0.1wt%～1.5wt%；盐酸0.3wt%～2.5wt%；表面活性稳定剂0.01wt%～0.5wt%；其余为去离子水；通过采用自主配制的刻蚀溶液、自动上下料技术、自动温度调节技术、自动浸泡技术、自动清洗技术、自动烘干干燥技术和自动监测控制技术等众多技术的综合配套，实现了薄膜太阳能电池所需透明导电薄膜的工业化自动连续浸泡刻蚀生产。