超低温制冷机、超低温制冷机的诊断装置及诊断方法

摘要

超低温制冷机(10)具备：运动转换机构(43)，将马达(42)输出的旋转运动转换为置换器的直线往复运动；测量仪(50)，与马达(42)连接从而输出表示马达(42)的耗电量或流过马达(42)的电流的时序数据；及处理部(100)，根据时序数据中的包含进气开始时刻或排气开始时刻的区间数据来检测出运动转换机构(43)的第1组件和第2组件的滑动面的磨损。