低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法

摘要

本发明的低温泵(10)具备：不燃性吸附材料(64)；及控制器(100)，所述控制器为了开始低温泵(10)的真空排气运转依次执行如下步骤：通过使不燃性吸附材料(64)在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境，使不燃性吸附材料(64)脱水；不燃性吸附材料(64)的脱水之后，对不燃性吸附材料(64)的周围环境进行真空排气；及在真空环境下将不燃性吸附材料(64)冷却至超低温。