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温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法

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本发明的目的是提供一种新颖的温度分布评价方法、温度分布评价装置以及均热范围的评价方法，所述温度分布评价方法对加热装置(40)所具备的加热区域(40A)的温度分布进行评价，其中，在所述加热区域(40A)中对半导体衬底(10)和用于与该半导体衬底(10)相互输送原料的收发体(20)进行加热，基于所述半导体衬底(10)的衬底厚度变化量(A)评价所述加热区域(40A)的温度分布。由此，可以实现由于热电偶的材料限制而难以实现的1600至2200℃等的高温度区域的温度分布评价。

著录项

公开/公告号CN114144644A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-04

原文格式PDF
申请/专利权人学校法人关西学院;丰田通商株式会社;
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申请/专利号CN202080030893.8
发明设计人金子忠昭;堂岛大地;芦田晃嗣;井原知也;
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申请日2020-04-24
分类号G01K3/14(20060101);G01K13/12(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11400 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人方挺;侯晓艳
地址日本国兵库县
入库时间 2023-06-19 14:23:39

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法律状态
2022-03-04

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