优化弯曲波导的制备方法及其应用

摘要

本公开提供了一种优化弯曲波导的制备方法及其应用。该优化弯曲波导的制备方法，包括：利用预设非线性曲率弯曲关系获得电子束曝光所需图形第一部分，以得到第一弯曲波导；利用预设线性曲率弯曲关系获得电子束曝光所需图形第二部分，以得到第二弯曲波导；以预设直线为对称轴，获得与电子束曝光所需图形第一部分对称的电子束曝光所需图形第三部分，以得到第三弯曲波导；第一部分、第二部分以及第三部分组合形成电子束曝光所需图形，并通过电子束曝光工艺形成优化弯曲波导；其中，在优化弯曲波导中，第二弯曲波导一端与第一弯曲波导末端相连，第三弯曲波导一端与第二弯曲波导另一端相连。