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一种红外探测器及其制备方法和红外探测系统

摘要

本申请提供了一种红外探测器及其制备方法和红外探测系统,其中,红外探测器包括像元阵列,该像元阵列中的每个像元包括桥臂和通过桥臂支撑于铝层上的桥面,该桥面包括吸收膜系,在远离铝层的方向上,吸收膜系依次包括空腔层、第一介质层、金属层、第二介质层、热敏层和第三介质层。相比于现有技术,本申请的红外探测器通过对吸收膜系进行调整,设计了能够在波长为3μm‑7μm的跨中波段内具有较强吸收的像元阵列,有效提高了该波段范围内的红外辐射吸收率。因此,本申请的红外探测系统对红外波长在3μm‑7μm的被探测目标具有较高的吸收率。本申请的红外探测器的制备方法,工艺简单易操作,原料易得,能够广泛应用于工业生产中。

著录项

  • 公开/公告号CN113659015A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州海康微影传感科技有限公司;

    申请/专利号CN202111071002.6

  • 发明设计人 刘建华;丁金玲;

    申请日2021-09-13

  • 分类号H01L31/02(20060101);H01L31/0232(20140101);H01L31/0248(20060101);

  • 代理机构11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人高敏;刘继富

  • 地址 311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼

  • 入库时间 2023-06-19 13:16:59

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