一种大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法

摘要

本发明公开一种大曲率微小件表面多层金属薄膜的无损检测方法，包括以下步骤：S1：采用同步辐射X射线微束技术对样品进行检测；S2：采用切入射方法获得表面金属膜层的衍射信号，通过转动样品，使样品与入射X射线相切，入射X射线与样品表面夹角趋近于0°，进而获得表面金属膜层的衍射信号；S3：采用掠入射方法获得中间金属膜层的衍射信号，通过转动样品，使样品中间层与入射X射线形成夹角，夹角小于5°，进而获得中间层金属薄膜镀层的衍射信号；S4：采用透射方法对衍射信号进行校准，此时转动样品，使X射线水平穿透2层复合镀层，从而获得2套衍射信号以辅助校准；采用具有高亮度的同步辐射光源和同步辐射微束技术获得微米级的空间分辨率。