氮化硅粉末及其制造方法、以及氮化硅烧结体的制造方法

摘要

提供总氟量为100～1000质量ppm且Fe、Al及Ca的合计量为100～1000质量ppm的氮化硅粉末。提供氮化硅粉末的制造方法，其具有下述工序：将包含硅粉末和氟化物且相对于硅粉末而言的氟化物的含量为0.1～2质量％的原料在包含氮与选自由氢及氨组成的组中的至少一者的混合气氛下进行烧成而制得烧成物的工序；和使用氟化氢浓度为10～40质量％的氢氟酸对烧成物进行处理的工序。