用于EUV光源中的源材料调节的激光系统

摘要

公开了一种装置和方法，其中在施加主电离脉冲之前将来自单个激光源的多个(例如，两个或更多个)脉冲施加到源材料，其中多个脉冲由公共激光源生成。当源材料处于第一位置时，第一脉冲被引导朝向源材料，而当源材料处于第二位置时，第二脉冲被引导朝向源材料。