用于样本表面的离轴成像的系统以及相关方法和计算机程序产品

摘要

提供了一种用于确定从样本获取的图像中的曲率的顶点的系统。所述系统包括成像系统以及处理器，成像系统被配置为使用径向模式获取样本的多个扫描，处理器与成像系统相关联。处理器被配置为将多个扫描中的每个扫描分割并且曲线拟合到所述样本的表面；为与多个扫描中的每个扫描相关联的每条曲线确定顶点；使用最小值导数确定在所有确定的顶点之中的真实顶点；并基于所确定的真实顶点计算XY偏移量；将真实顶点映射到X和Y等于零处的原点；并基于所计算的偏移量调整与未被确定为真实顶点的剩余顶点相关联的坐标。