用于可调谐激光器的薄膜滤波器

摘要

本申请涉及用于可调谐激光器的薄膜滤波器。一种用于波长可调谐半导体激光器的薄膜装置。装置包括位于高反射率面和抗反射面之间的腔，该腔被设计为发射波长在由两个游标环谐振器确定的可调谐范围内的激光，该游标环谐振器具有在第一波长和第二波长之间的联合自由光谱范围。该装置还包括膜，该膜包括多对第一层和第二层，第一层和第二层依次堆叠到高反射率面的外侧。每对中的每一层具有一个单位的各自的光学厚度，除了一对中具有较大光学厚度的一个第一层或第二层之外。膜被配置为对于从第一波长开始的可调谐范围内的波长，从高反射率面产生至少大于90％的激光的内部反射率，但是对于围绕第二波长的25nm范围内的波长，激光的内部反射率至少小于50％。