一种脉冲复合射频增强空心阴极长管内壁沉积类金刚石涂层方法

摘要

一种脉冲复合射频增强空心阴极长管内壁沉积类金刚石涂层方法，本发明一种脉冲复合射频增强空心阴极长管内壁沉积类金刚石涂层方法。本发明的目的是为了解决现有长管道内壁沉积类金刚石涂层过程中出现的等离子体密度低，膜层较厚之后绝缘沉积效率低的问题，本发明将射频和脉冲电源通过射频与脉冲的匹配电源网络复合连接，以Ar气、TMS和乙炔为反应气体，经过对管内壁的打磨清洗干燥、辉光刻蚀、沉积过渡层、将DLC涂层沉积于(长0.2m‑30m，直径50mm‑500mm)管内表面，膜的厚度达10μm以上，膜层沉积速率0.2μm/min。本发明应用于材料制造领域中。