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公开/公告号CN113155402A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江工业大学;
申请/专利号CN202110231050.0
发明设计人 陈国达;张伟;卢奇;陈燚杰;葛一帆;
申请日2021-03-02
分类号G01M9/06(20060101);
代理机构33201 杭州天正专利事务所有限公司;
代理人王兵
地址 310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号
入库时间 2023-06-19 11:59:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
授权
发明专利权授予
机译: 静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译: 真空环境中的静压气体轴承,静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译:真空兼容的静压气体轴承-使用静压气体轴承和气动执行器的半导体暴露装置
机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
机译:气膜流场及其在孔静压轴承孔口出口的影响因素研究
机译:大气膜间隙下单进风孔推力静压轴承的两种不同计算方法研究
机译:静压气体轴颈轴承动力学特性研究
机译:回流和有效粘度对气体微轴承微弹-气动润滑性能的综合影响
机译:气体轴承设计图表。第2卷。静压气体轴颈轴承和静压气体推力轴承