狭缝宽度均匀性测量系统、方法及图像处理装置

摘要

本发明适用于光学技术领域，提供了一种狭缝宽度均匀性测量系统、方法及图像处理装置。所述狭缝宽度均匀性测量系统包括：光源、待测狭缝、第一镜组、图像采集装置和图像处理装置，其中：光源用于产生光束；光束通过待测狭缝，再经过第一镜组后到达图像采集装置；图像采集装置用于采集待测狭缝通过第一镜组所成的像，以生成目标图像，并向图像处理装置发送目标图像；其中，待测狭缝的像的宽度方向与所述目标图像的像素行或像素列平行；图像处理装置用于对目标图像进行检测，以得到待测狭缝的宽度均匀性系数。本发明能够实现对狭缝宽度均匀性的定量判断，解决了当前狭缝宽度均匀性测量领域中因为缺乏定量判断依据而造成的判断不准确的问题。