湿度传感单元、湿度传感器及其应用

摘要

本发明涉及一种湿度传感单元、湿度传感器及其应用。所述湿度传感单元，其包括纳米光栅以及层叠于所述纳米光栅表面的吸湿材料层；所述纳米光栅为具有表面等离子激元效应的金属纳米光栅。该湿度传感单元具备非常高的灵敏度和相对简单的制作成本，可以广泛应用到实际的湿度传感检测中。