采用曲线光波导连接的铌酸锂薄膜双Y分支光波导调制器

摘要

本发明公开了一种采用曲线光波导连接的铌酸锂薄膜双Y分支光波导调制器，包括双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底,所述衬底上依次设有二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和双Y分支光波导结构的铌酸锂脊形光波导，连接两个Y分支光波导的过渡光波导为曲线波导。本发明中，过渡光波导采用曲线结构，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声问题；另外，本发明通过改变铌酸锂薄膜光波导芯片的结构，增大了铌酸锂脊形光波导与保护层的折射率差，进而增强了对光的束缚能力，使光波导的弯曲半径大大减小，实现了双Y分支光波导调制器的小型化。