一种产生均匀低温等离子体的双极性高压脉冲电源

摘要

本发明公开了一种产生均匀低温等离子体的双极性高压脉冲电源，涉及低温等离子体领域，包括：整流滤波模块、两个谐振充电模块、双原边绕组脉冲变压器和控制模块，每个谐振充电模块都包括谐振电感、谐振二极管、谐振电容和半导体开关，谐振电感的一端作为谐振充电模块的输入正极端，半导体开关的第二端作为谐振充电模块的输入负极端和输出负极端，谐振电容的另一端作为谐振充电模块的输出正极端，次级线圈的一端与第一初级线圈的第一端以及第二初级线圈的第一端分别互为同名端，控制模块通过控制两个半导体开关的交替导通，在次级线圈得到双极性高压脉冲，减少了半导体开关的数量，更加稳定的产生均匀的低温等离子体。