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裸片裂纹损伤检测电路、裂纹检测方法以及存储器

摘要

本申请提供了一种裸片裂纹损伤检测电路、裂纹检测方法以及存储器。该裸片裂纹损伤检测电路,包括:测试电路、裂纹检测环路、中继驱动单元。其中,测试电路位于裸片的保护环内,用于输出脉冲检测信号;裂纹检测环路位于保护环内,和/或,保护环外,其输入端与测试电路的输出端连接,其输出端与裸片的输出管脚连接;中继驱动单元,设置于裂纹检测环路的输入端和输出端之间,用于增强脉冲检测信号的传输能力;保护环环绕整个裸片,用于保护裸片;测试电路在进入测试模式时,向裂纹检测环路输出脉冲检测信号,测试机台通过读取裸片的输出管脚上的信号来判断裸片是否被裂纹所损伤。通过中继驱动单元使得裂缝检测的速度和灵敏度得到大幅提升。

著录项

  • 公开/公告号CN112908879A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN202110087721.0

  • 发明设计人 曹玲玲;

    申请日2021-01-22

  • 分类号H01L21/66(20060101);H01L23/544(20060101);

  • 代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人朱颖;臧建明

  • 地址 230011 安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号

  • 入库时间 2023-06-19 11:14:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-03

    授权

    发明专利权授予

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