光刻胶剥离液废液中回收NMF和MDG的方法和装置

摘要

本发明涉及一种光刻胶剥离液废液中回收NMF和MDG的方法，其包括如下步骤：（1）光刻胶剥离液废液经过滤后进行脱水处理；（2）对脱水后的光刻胶剥离液废液进行减压精馏，得到NMF和MDG的混合物以及高沸物；（3）对NMF和MDG的混合物进行电解，得到NMF和MDG的回收液；（4）对高沸物进行焚烧处理。本发明还涉用于上述方法的装置。本发明的流程简单、成本低、适于大规模推广。