振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法及装置

摘要

本公开实施例公开了的振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法及装置，利用振幅调制交流电压作为激励电压，且振幅调制交流电压包括调制信号和载波信号，而载波信号的频率的可调节范围较大，也即，可以对探针施加不同频率的激励电压，也就可以获得不同激励频率下样品的电学特性，也即，可以使得获取的样品的电学特性更加全面。