薄膜邦定的压板治具、压合结构及薄膜邦定装置

摘要

本申请涉及薄膜邦定的压板治具、压合结构及薄膜邦定装置，所述压板治具包括本体及延伸于本体两侧的施压位置，且于本体中间的压合区域处开设有槽体，压板治具还于本体开设有两个辅槽，槽体位于两个辅槽之间。通过开设辅槽的形式释放应力，经测试证明可以有效地减小薄膜邦定时压板治具与薄膜之间的间隙，一方面有利于降低薄膜位置发生偏移的几率；另一方面即便发生偏移，由于间隙的最大间隙值减小了，因此偏移量亦能大幅下降，从而有利于避免发生薄膜邦定不良；再一方面是对现有压板治具的进一步处理，可以直接利用现有压板治具及其制造设备，无需更换现有压板治具的模具或供应链，新增成本极低，降低了技术革新的难度，有利于推广应用。