公开/公告号CN112703271A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201980057736.3
申请日2019-08-20
分类号C23C16/448(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/50(20060101);H01M4/04(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 10:43:23
机译: 用于薄膜沉积的直接液体注射系统
机译: 用于薄膜沉积的直接液体注射系统
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